岐阜県大垣市にある半導体関連工場のお客様のところへ、EDI＋RO超純水装置の異常警報がでたとのお知らせを受けて緊急修理にいってきました。装置の中間処理工程で目標純度を下回ったための異常警報でした。応急処置をして、なんとか目標純度をあげてアラームを回復させました。ユースポイントへの純度は、異常無しだったのでお客様の製品の品質には問題ありませんでした。写真のように17.85MΩ・ｃｍ付近でした。ちょうど、1ヶ月後くらいにオーバーホールを控えていたところでしたが、原因は、お客様のほうですこし、リザーブタンクの水位センサーを触られたことに起因するものでした。本装置の超純水の質は、安定性も含めかなりレベルが高いものですが、調整がかなり難しいです。お客様に事情をお話させていただいて今後は、私どもにお任せくださるようにお願いしました。